光学形貌3D成像测量仪 (平坦度/翘曲度/应力)
• 行业标准、标杆！
• 2-8寸几何形貌+应力
• 非接触、无损伤、斜光干涉型, 二次解析算法消除外界干扰 (透明物OK)
• SEMI标准测量：GFLR, GF3D, GF3R, TV, GBIR, TAPER, Tang, SFLR, SFLD, SFQR, SF3R, SF3D, SBIR, SBID, BOW, SORI, 整体应力,局部应力…
