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全自动高速高精度CMP抛光/BG背减薄

全自动高速高精度 CMP抛光/BG背减薄

• 超镜面光洁度Ra=1Å! • 全自动量产式，单/双面精抛光 • 支持150~300mm薄片、背减薄厚度<25um!