3-12"外貌特征检测+厚度+电阻律+粗糙度
市场实绩:1978年以来全球共有大于4000台的销售实绩。因为NDA,恕不能透露具体客户名称。
MX-204是销售最多的,人气最旺的产品;它有许多种产品组合形式,大多数都是衬底/IC/背减薄制造用户。
典型配置是:MX-204与MX-608的组合型,绝大多数都是衬底厂家,回收片厂家。
可选项:
- OCR reader 读码器
- Commercial software option "extended OCR sorting" 商用OCR读码分拣软件
- Waferstudio 操作/控制软件
- SECS/GEM 200 联机协议
- Telephon/email support (3 month after delivery) for software developer 软件开发远程售后服务
- Resistivity reference wafer set (2x4 wafer) 电阻率对标晶圆包(2x4枚)
- Software diameter module 直径检测软件模块
- Dual arm robot 机械双臂