InnoLas Wafer Marker (Laser Marker) 晶圆激光打标/雕刻/刻字系统

InnoLas

Wafer Marker晶圆打标 / Sorterj晶圆分选：业界标杆、全球技术领导者、市占率80%!!

• TSMC、UMC、Hynix、SMIC中芯、美光、信越、盛高、世创、英飞凌、CREE/狼速、奕斯伟、中环、超硅、新升、粤芯、华虹、华为、华润、鹏芯微、昇维旭、鹏进、三安、积塔、烁科、长飞、天岳、英诺赛科…

• 双面高速高品质全自动打标: SEMI标准、位置精度≤50um; 点径、圆度、深浅精准可控; 软打无粉尘、无颗粒、无烧结!

• Sorter晶圆倒片+目视分检VIS: 高速、高稳定性、优异的兼容性

• 支持 EAP/MES联机、OHT/AGV自动化

主要特征：

适用材料：Si硅、Ge锗、SiC碳化硅、GaN氮化镓、AlN氮化铝、Al2O3、LT但酸锂、LN铌酸锂、GsAs砷化镓、InP磷化铟、玻璃等

材料尺寸：3~12寸

打标深度：0.1~200um 

独有特性：

1、支持正反面无接触打标（无需翻转晶圆）

2、软(浅)打标无粉尘、无杂物、无污染。

3、激光器使用寿命长达8~10年。

4、系统稳定、可靠、无耗材。

5、一体化人体工学设计，体积小、功耗低、长寿命、高效率、免维护，高质量的各类激光器，光斑漂亮精细。