InnoLas Wafer Sorter 晶圆分选/分类/倒片/检测

InnoLas

Wafer Sorter 分检/VIS目检：

• 模块化、定制化设备，可作EFEM平台，自动/手动VIS目视检测nm纳米级别缺陷！

• Sorter晶圆倒片+目视分检VIS: 高速、高稳定性、优异的兼容性

• 支持 EAP/MES联机、OHT/AGV自动化

产品用途：
• 目视检测设备可组装矫正、分选等功能。通常用在半导体工厂黄光线上或者wafer晶圆生产线上。

• 可检测nm级别的灰层、刮伤、颗粒、崩边等缺陷。
• 可晶圆空吸/抓边翻转（Edge Grip flipping）
• 支持2~12寸、片盒OC/FOUP/FOSB/SMIF等

Innolas IL-2600晶圆激光读码分选/分检/倒片机

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